常见的多弧离子镀设备使用过程中，阴极电弧会从耀眼的弧斑内发射出常被称为液滴的大颗粒。以金属阴极为例，液滴来源于弧斑内存在熔池。这些液滴最终在镀层表面呈现为微米尺度的圆形凸起，影响镀层的表面粗糙度。

  液滴（或大颗粒）形成的原因主要有以下几个方面：

  1、 阴极弧斑温度较高，一般超过金属熔点，形成微熔池并使金属强烈气化，金属蒸汽流冲向空间时带出液滴飞溅。

  2、 在阴极位降区部分金属离子返回阴极弧斑区，在高动能离子轰击下产生高压，使熔融金属以微粒形式飞溅离开阴极。

  3、 阴极表面含有气泡，或是多孔材料，有封闭的孔隙。在高温下，气体突然膨胀产生高压，导致附近微熔池的材料和表面密封层材料碎裂和飞溅。

  4、 局部高电场作用使结合较弱的材料崩塌飞离。

  国外Hauzer公司（见下方视频）通过调整磁场排布方式，控制弧斑运行轨迹，使靶面均匀烧蚀，减少液滴（或大颗粒）的发射。